產(chǎn)品中心
采用精密加工的氣浮部件搭配均勻氣膜設(shè)計(jì)，確保運(yùn)動(dòng)時(shí)垂直和水平方向的直線度誤差小于0.2微米/100毫米；
elmo高性能驅(qū)動(dòng)器結(jié)合海德漢高精度反饋系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)重復(fù)定位精度優(yōu)于0.035微米；
優(yōu)秀的氣浮結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，提供高承載能力，可支持超過(guò)100公斤負(fù)載，同時(shí)保持高剛性；
多耦合場(chǎng)仿真確定極優(yōu)的氣場(chǎng)參數(shù)設(shè)計(jì)，確保在氣壓大于0.65MPa時(shí)，仍可運(yùn)行平穩(wěn)且長(zhǎng)期可靠。
| 技術(shù)參數(shù) |
| 序號(hào) | 項(xiàng)目 | 標(biāo)準(zhǔn)值 |
|---|
| 1 | 極高的垂直/水平直線度 | ＜0.2um/100mm |
| 2 | 極高的重復(fù)定位精度 | ＜0.035um |
| 3 | 高承載特性 | ＞100kg/＞70N/um |
| 4 | 極好的穩(wěn)定性 | 氣壓＞0.65MPa |
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